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專業(yè)鑄就價值,合作成就未來

鏈式刻蝕機5道/8道/10道

鏈式刻蝕機5道/8道/10道

主要功能:

用于單、多晶硅片的刻蝕、去PSG/BSG、清洗、干燥。



0512-66163090
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設(shè)備性能

可調(diào)傳動速度:0.5-3m/min

常規(guī)運行速度:2.5m/min

產(chǎn)能: Up to 4000 Wafers/H@20mm

  Up to 6800 Wafers/H@20mm

           Up to 8000 Wafers/H@20mm

設(shè)備有效利用率:≥98%

刻蝕深度范圍:0.7~6μm

碎片率:≤0.03%

 

硅片規(guī)格

硅片厚度≥140μm

硅片尺寸156.75*156.75mm-212*212mm


傳動

傳動類型:5 lane/6 lane

軸間距:50mm/60mm

主傳動軸:17mm,Hexagon

傳動滾輪:Φ32mm

 

方向

工作方向:Left→Right/ Right→Left(TBD) 

 

電力供應(yīng)

供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制電源:DC 24V

滿載電源:75A

建議最大保險絲規(guī)格:100A


安裝要求

最小地面承重:75Kg/㎡

最低車間高度:3.5m

無塵室級別:ISO7(10K Class)

環(huán)境溫度:17℃<RT<30℃

最大濕度:70%





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